Умуман, дар кор карда баромадан, истехсол ва истифода бурдани дастгоххои нимнокилхо ба камбудй рох надодан душвор аст. Баробари такмил додани мунтазами талаботи сифати махсулот, тахлили нобарорихо ахамияти торафт калон пайдо мекунад. Бо таҳлили микросхемаҳои мушаххаси нокомӣ, он метавонад ба тарроҳони схема дар пайдо кардани камбудиҳои тарҳи дастгоҳ, номувофиқ будани параметрҳои раванд, тарҳрезии беасоси схемаи периферӣ ё кори нодурусте, ки дар натиҷаи мушкилот ба вуҷуд омадааст, кӯмак кунад. Зарурати таҳлили нокомии дастгоҳҳои нимноқил асосан дар ҷанбаҳои зерин зоҳир мешавад:
(1) Таҳлили нокомӣ воситаи зарурӣ барои муайян кардани механизми нокомии чипи дастгоҳ мебошад;
(2) Таҳлили нокомӣ барои ташхиси самараноки хатоҳо замина ва иттилооти заруриро фароҳам меорад;
(3) Таҳлили нокомӣ барои муҳандисони тарроҳӣ барои пайваста такмил ё таъмири тарҳи чип ва мувофиқи мушаххасоти тарроҳӣ оқилонатар кардани он маълумоти зарурии фикру мулоҳизаҳоро фароҳам меорад;
(4) Таҳлили нокомӣ метавонад иловаи заруриро барои санҷиши истеҳсолот таъмин кунад ва барои оптимизатсияи раванди санҷиши санҷиш заминаи заруриро таъмин намояд.
Барои таҳлили нокомии диодҳои нимноқилҳо, аудионҳо ё микросхемаҳои интегралӣ бояд аввал параметрҳои электрикӣ санҷида шаванд ва пас аз тафтиши намуди зоҳирӣ дар зери микроскопи оптикӣ бастабандӣ бояд хориҷ карда шаванд. Ҳангоми нигоҳ доштани якпорчагии функсияи чип, роҳҳои дохилӣ ва беруна, нуқтаҳои пайвастшавӣ ва сатҳи чип бояд то ҳадди имкон нигоҳ дошта шаванд, то ба қадами навбатии таҳлил омода шаванд.
Истифодаи микроскопияи электронии сканер ва спектри энергетикӣ барои анҷом додани ин таҳлил: аз ҷумла мушоҳидаи морфологияи микроскопӣ, ҷустуҷӯи нуқтаи нокомӣ, мушоҳида ва ҷойгиршавии нуқтаҳо, андозагирии дақиқи андозаи геометрияи микроскопии дастгоҳ ва тақсимоти потенсиали рӯизаминӣ ва хулосаи мантиқии дарвозаи рақамӣ схема (бо усули тасвири контрасти шиддат); Барои анҷом додани ин таҳлил спектрометри энергетикӣ ё спектрометрро истифода баред: таҳлили таркиби элементҳои микроскопӣ, сохтори мавод ё таҳлили ифлоскунанда.
01. Нуќсонњои рўизаминї ва сўхтани дастгоњњои нимноќилњо
Нуқсонҳои рӯизаминӣ ва сӯхтани дастгоҳҳои нимноқилҳо ҳарду намуди маъмулии нокомӣ мебошанд, тавре ки дар расми 1 нишон дода шудааст, ки нуқси қабати тозашудаи микросхемаҳои интегралӣ мебошад.
Дар расми 2 нуқсони рӯи қабати металлизатсияшудаи схемаи интегралӣ нишон дода шудааст.
Дар расми 3 канали шикастани байни ду тасмаи металлии схемаи интегралӣ нишон дода шудааст.
Дар расми 4 фурӯпошии рахи металлӣ ва деформатсияи каҷ дар пули ҳавоӣ дар дастгоҳи печи печи нишон дода шудааст.
Дар расми 5 сӯхтани шабакаи найчаи микроволновка нишон дода шудааст.
Дар расми 6 зарари механикии сими металлизатсияшудаи электрикӣ нишон дода шудааст.
Дар расми 7 кушодашавӣ ва нуқсони чипи меса диод нишон дода шудааст.
Дар расми 8 вайроншавии диодҳои муҳофизатӣ дар вуруди схемаи интегралӣ нишон дода шудааст.
Дар расми 9 нишон дода шудааст, ки сатҳи микросхемаҳои интегралӣ аз таъсири механикӣ осеб дидааст.
Дар расми 10 қисман сӯхтани микросхемаҳои интегралӣ нишон дода шудааст.
Дар расми 11 нишон дода шудааст, ки чипи диод шикаста ва сахт сӯхтааст ва нуқтаҳои шикаста ба ҳолати обшавӣ табдил ёфтааст.
Дар расми 12 чипи сӯхтаи найчаи барқии галлий нитриди микроволновка нишон дода шудааст ва нуқтаи сӯхташуда ҳолати пошидани гудохтаро нишон медиҳад.
02. Шикастани электростатикӣ
Дастгоҳҳои нимноқилҳо аз истеҳсол, бастабандӣ, интиқол то дар тахтаи ноҳиявӣ барои воридкунӣ, кафшер, васлкунии мошинҳо ва дигар равандҳо зери таҳдиди қувваи барқи статикӣ қарор доранд. Дар ин раванд, нақлиёт аз сабаби ҳаракати зуд-зуд ва таъсири осон ба нерӯи статикии ҷаҳони беруна вайрон мешавад. Аз ин рӯ, барои кам кардани талафот ба муҳофизати электростатикӣ ҳангоми интиқол ва интиқол диққати махсус додан лозим аст.
Дар дастгоҳҳои нимноқилӣ бо найчаи якқутбаи MOS ва микросхемаҳои интегралии MOS ба нерӯи барқи статикӣ, махсусан найи MOS ҳассос мебошанд, зеро муқовимати вуруди худ хеле баланд аст ва зарфияти электроди дарвоза хеле хурд аст, аз ин рӯ хеле осон аст. ба майдони электромагнитии беруна ё индуксияи электростатикӣ таъсир мерасонад ва заряднок аст ва аз сабаби тавлиди электростатикӣ дар вақти холӣ кардани заряд душвор аст, Аз ин рӯ, боиси ҷамъшавии нерӯи статикӣ ба шикастани фаврии дастгоҳ мегардад. Шакли шикастани электростатикӣ асосан шикастани генофонии электрикӣ мебошад, яъне қабати тунуки оксиди шабака шикаста шуда, сӯрохиеро ташкил медиҳад, ки фосилаи байни шабака ва манбаъ ё байни шабака ва дренажро кӯтоҳ мекунад.
Ва нисбат ба найчаи MOS микросхемаи интегралии MOS қобилияти шикастани антистатикӣ нисбатан беҳтар аст, зеро терминали вуруди микросхемаҳои интегралии MOS бо диодҳои муҳофизатӣ муҷаҳҳаз шудааст. Пас аз он ки шиддати калони электростатикӣ ё шиддат дар аксари диодҳои муҳофизатӣ вуҷуд дорад, метавонанд ба замин гузаранд, аммо агар шиддат хеле баланд бошад ё ҷараёни пурқувваткунии фаврӣ хеле калон бошад, баъзан диодҳои муҳофизатӣ, тавре ки дар расм нишон дода шудааст, худашон пайдо мешаванд. 8.
Якчанд расмҳое, ки дар расми 13 нишон дода шудаанд, топографияи вайроншавии электростатикии микросхемаҳои интегралии MOS мебошанд. Нуқтаи шикастан хурд ва амиқ буда, ҳолати пошидани гудохтаро пешниҳод мекунад.
Дар расми 14 намуди вайроншавии электростатикии сари магнитии диски сахти компютер нишон дода шудааст.
Вақти фиристодан: июл-08-2023
